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如何保證真空熱壓燒結爐實現高真空度?

更新時間:2025-04-07 18:55:10      點擊次數:3600

  保證真空熱壓燒結爐實現高真空度的措施有兩點,極限真空度和最大漏率極限。這兩點是真空設備的兩項重要指標,也是熱壓燒結爐正常運行的基本條件。影響最大漏率的因素有爐體的制造精度、爐體材料、密封材料、絕緣材料等。所以,應選擇漏率極低的材料作為主導材料,選擇密封性好的閥門,抽氣效率高的真空泵等。


  真空熱壓燒結爐總放氣率系指材料的放氣、解吸、凝結氣體的再蒸發(fā)、焊縫夾層內氣體的滲透,以及真空系統(tǒng)中工作介質的逆流和逆擴散等放氣的總和。其中材料的放氣率是影響真空度的最大因素。該爐中的材料包括:發(fā)熱元件、保溫材料、密封件、模具、制品的原材料等。就放氣率而言,在這些材料中保溫材料所占比重最大。在該爐中選擇金屬鉬片和石墨氈作為保溫材料,在高溫中放氣率極低。密封件材料選擇硅橡膠。


  目前常用的發(fā)熱元件材料一般為鉬、鎢和石墨等。這幾種發(fā)熱材料必須在較高的真空度和有保護性氣氛的條件下才能正常工作。隨著爐內溫度的升高,爐內各種材料如發(fā)熱體、保溫材料、模具、被制備的原材料等有一個去氣和蒸發(fā)的過程,使真空度下降,影響發(fā)熱元件的壽命。所以,一般采用抗氧化的高純石墨制作發(fā)熱元件。


  真空熱壓燒結爐被制備的材料要獲得一定的壓合成型力,外來的機械力要通過密閉的爐體,首先要考慮的是機械動密封問題。這種機械動密封裝置必須滿足兩個條件:正壓、負壓時均能維持極限真空。

主要技術參數

編號

P2GR20

產品型號

VHPgr-20/20/30-2000

最高設計溫度(  

2000

加熱元件

等靜壓石墨

加熱功率(kW)

45

壓頭材質

等靜壓石墨

測溫元件

鎢錸熱電偶

升溫速率

1~15℃/min

溫度均勻性

±5℃(5點測溫,恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測)

爐膛尺寸

200x200x300

壓頭行程( mm 

100

壓頭開放高度( mm 

160

樣品直徑( mm 

Φ20~80

壓力(噸)

30

加壓方式

下加壓,由下往上加壓

可充氣氛

氮氣/氬氣一路

冷態(tài)極限真空度( Pa 

6.7x10-3Pa(空爐、冷態(tài)、經凈化)

設備外形尺寸( mm 

1425x1550x1850mm(DxWxH)

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